韩国帕克原子力显微镜NX-PTR概述

Park Systems的PTR系列是全自动工业级线上原子力显微镜解决方案，适用于（不限于）长形条、磁头万向节组件(HGA)级滑块以及单独滑块的极尖沉降自动测量。凭借着亚纳米级精确度、高重复精度以及高通量，PTR系列是滑块厂商提高整体产量的理想测量工具。

自动化、快速、精确且可重复的极尖沉降测量

硬盘驱动滑块制造业要求工具不仅可以快速且流畅地测量极尖沉降，同时保证最高标准的精确度。这便是Park NX-PTR大展身手的领域。在超精确的极尖沉降测量之外，自动化功能可极大程度提高效率。这让NX-PTR成为硬盘驱动器滑块厂商的选择，兼顾樶佳的质量和最高的产量。

高通量，无需多次参考扫描

大多数原子力显微镜需要多次扫描才可以准确测量极尖沉降，首先是大区域参考扫描，随后小区域高分辨率扫描。多次扫描占用大量时间，且限制了通量的提高。我们的扫描系统带来真正的平面扫描，有效地降低扫描次数。此外，True Non-Contact™模式让探针保持锋利，在延长使用寿命的同时，提供更持久的高分辨率成像效果。相应地，Park NX-PTR能够生成感兴趣区域的详细准确图像，而无需进行参考扫描，以便修正扫描器伪影。

 * 应用

自动硬盘滑块测量

随着硬盘滑块的尺寸越来越小，复杂性越来越高，提高产量的关键在于实现纳米级的精确度。

Park NX-PTR恰恰具备这样的精确且自动的硬盘滑块测量。

自动极尖沉降测量与分析

借助NX-PTR系统，极尖沉降测量可实现全自动，带来更高的通量，无论是对于载体、长形条，还是滑块。

Park Systems的工业级院里子显微镜精确且稳定的全自动化极尖沉降(PTR)测量成为可能。

极尖沉降量的监测要求测量精度达到0.1 mm，这意味着离测量表面只有20 μm远。

自动墙角测量与分析

实现各类墙角的自动测量与分析。

自动缺陷测量与分析

实现各类缺陷的全自动测量与分析，如表面尖角。

韩国帕克原子力显微镜NX-PTR特点

★ 低噪声XYZ轴位置传感器，带来更精确的扫描效果

NX-PTR摈弃了常见的非线性Z轴电压信号，而是采用超低噪声Z轴探测器，从而带来无与LUN比的形貌高度精度。凭借着行业领xian的低噪声Z轴探测器，正向扫描和反向扫描间隙得以降到扫描范围的0.15%以内，甚至可以忽略不计，而这时Z轴形貌信号所无法企及的。

★ 热漂移和滞后极小，大大降低探针漂移

NX-PTR具备极为突出的热稳定性和机械稳定性，从而大大降低热漂移，实现更为精确的测量。一般情况下，横向热漂移率低于100 nm/°C，而垂直热漂移率则低于200 nm/°C。

★ 测量控制自动化，释放您的双手

NX-PTR配有自动化软件，操作起来轻而易举。您只需要选择想要的测量程序，并设定相应的悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数，便可取得多位置分析。此外，Park的用户友好型界面让您能够随意创建自定义作业程序，以便您wan全发挥NX-PTR的实力，满足所有的测量需求。创建新的作业程序极为简单。创建新测量文件只需要10分钟左右的时间，而修改现有的测量文件则不超过5分钟的时间。

★ Park NX-PTR的自动化系统具备：

·自动、半自动和手动模式，让您掌控全局

·各自动程序的可编辑测量方法

·测量过程实时监测

·自动分析所获取的测量数据