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日本日立全自动型原子力显微镜5500M介绍
点击次数:164 发布时间:2022-07-29

日本日立全自动型原子力显微镜5500M概述

AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察・分析。

日本日立全自动型原子力显微镜5500M特点
1. 自动化功能

  • 高度集成自动化功能追求高效率检测

  • 降低检测中的人为操作误差

 

2. 可靠性
排除机械原因造成的误差

  • 大范围水平扫描

  • 采用管型扫描器的原子力显微镜,针对扫描器圆弧运动所产生的曲面,通常通过软件校正方式获得平面数据。但是,用软件校正方式不能*消除扫描器圆弧运动的影响,图片上经常发生扭曲效果。
    AFM5500M搭载了新研发的水平扫描器,可实现不受圆弧运动影响的准确测试。

  • 高精角度测量

  • 普通的原子力显微镜所采用的扫描器,在竖直伸缩的时候,会发生弯曲(crosstalk)。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。
    AFM5500M中搭载的全新扫描器,在竖直方向上不会发生弯曲(crosstalk) ,可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。

Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

  • * 使用AFM5100N(开环控制)时

3. 融合性
亲密融合其他检测分析方式

通过SEM-AFM的共享坐标样品台,可实现在同一视野快速的观察・分析样品的表面形貌,结构,成分,物理特性等。

SEM-AFM在同一视野观察实例(样品:石墨烯/SiO2

The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.

上图是AFM5500M拍摄的形状像(AFM像)和电位像(KFM像)分别和SEM图像叠加的应用数据。

  • 通过分析AFM图像可以判断,SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。

  • 石墨烯层数不同导致表面电位(功函数)的反差。

  • SEM图像对比度不同,可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。

 

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